1.過濾濾芯

過濾濾芯主要過濾原水中的泥沙等大的顆粒物，新的濾芯是白色，如果時間長了表面會淤積泥沙等，呈現褐色，這就表示該濾芯不能用了，用自來水沖洗掉表面淤泥后，可以勉強繼續使用1-2周，但不能長期使用。　　

2.活性炭

濾芯活性炭濾芯主要通過吸附作用，去除水中的異味、有機物等。自來水中有余氯，對反滲透膜有很大的氧化作用，所以必須經由活性炭去除。活性炭濾芯從表面上看沒有直觀的變化，一般在一年左右就達到飽和吸附，需要更換。

3.反滲透膜

反滲透膜的孔徑小，在使用過程中常常有細菌等微觀物質淤積在其表面，一般各個廠家的純水機都有反沖洗功能，旨在洗掉污染物。用水量在10升/天以內，可以沖洗3-5次，超過10升，則多沖洗幾次。如果長時間(如1個月以上)不用，需要將其取出浸泡在消毒液里，避免細菌的滋生，建議即使不用水，都經常開機用少量的水，讓機器內部的水形成流通，盡量減少死水的沉積時間過長。反滲透膜的壽命在2-3年，主要由客戶的用水量來決定。

4.純化柱

純化柱是對反滲透純水進行深度脫鹽，終達到一級水或超純水水平。其原理是離子交換。純化柱的壽命由電阻率在線來表現。低于某個特定的電阻即表示純化柱過期，比較直觀。

5.用水

實驗室超純水器以自來水為水源的設備一般都有兩個出水口，分別是三級水和一級水，經反滲透出來的水是三級水，存放在水箱里，而一級水是即用即取，不存放。三級水沒有通過純化柱，一級水通過了純化柱，一級水的成本高于三級水。所以在日常應用的時候，能用三級水時盡量不用一級水，避免使用成本的上升。